Структура и свойства покрытий на основе Ti-O-N, сформированных методом реактивного магнетронного распыления
Приведены результаты экспериментального исследования оптических характеристик газового разряда с целью оптимизации режимов функционирования магнетронной среднечастотной распылительной системы, для осаждения соединений Ti–O–N. Установлены условия поддерживания величины интенсивности выбранных спектра...
| Опубликовано в: : | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 56, № 10. С. 35-40 |
|---|---|
| Другие авторы: | , , , , , , , |
| Формат: | Статья в журнале |
| Язык: | Russian |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001140174 |