Моделирование электронных свойств напряженного кремния на германиевой подложке

Построена модель для расчета деформаций в структуре из произвольного числа тонких кристаллических слоев Si и Ge на неупругой пленке. Определены относительные деформации в слоях псевдоморфных Si и Ge в зависимости от отношения толщин контактирующих полупроводников. Построенная модель позволяет опреде...

Full description

Bibliographic Details
Published in:Известия высших учебных заведений. Физика Т. 57, № 1. С. 50-56
Main Author: Филиппов, Владимир Владимирович физик
Other Authors: Власов, Артур Николаевич, Бормонтов, Евгений Николаевич
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001140210