Стабильность электрических характеристик МОП-структур на основе оксида галлия

Стабильность электрических характеристик МОП-структур на основе оксида галлия

Представлены результаты исследования вольт-фарадных и вольт-сименсных характеристик структур металл – оксид – полупроводник на основе GaxOy/GaAs, полученных методом термического испарения. Установлено влияние температуры отжига на характеристики структур. Обнаружено, что при длительном хранении в ко...

Full description

Bibliographic Details
Published in:Известия высших учебных заведений. Физика Т. 59, № 6. С. 3-6
Other Authors: Калыгина, Вера Михайловна, Петрова, Юлианна Сергеевна, Прудаев, Илья Анатольевич, Толбанов, Олег Петрович
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
арсенид галлия
оксид галлия
МОП-структуры
вольт-фарадные характеристики
вольт-сименсные характеристики
статьи в журналах
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001141259

Internet

http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001141259

Similar Items