Стабильность электрических характеристик МОП-структур на основе оксида галлия

Представлены результаты исследования вольт-фарадных и вольт-сименсных характеристик структур металл – оксид – полупроводник на основе GaxOy/GaAs, полученных методом термического испарения. Установлено влияние температуры отжига на характеристики структур. Обнаружено, что при длительном хранении в ко...

Full description

Bibliographic Details
Published in:Известия высших учебных заведений. Физика Т. 59, № 6. С. 3-6
Other Authors: Калыгина, Вера Михайловна, Петрова, Юлианна Сергеевна, Прудаев, Илья Анатольевич, Толбанов, Олег Петрович
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001141259
LEADER 02272nab a2200337 c 4500
001 koha001141259
005 20241023122706.0
007 cr |
008 240618|2016 ru s c rus d
035 |a koha001141259 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU 
245 1 0 |a Стабильность электрических характеристик МОП-структур на основе оксида галлия  |c В. М. Калыгина, Ю. С. Петрова, И. А. Прудаев, О. П. Толбанов 
336 |a Текст 
337 |a электронный 
504 |a Библиогр.: 8 назв. 
520 3 |a Представлены результаты исследования вольт-фарадных и вольт-сименсных характеристик структур металл – оксид – полупроводник на основе GaxOy/GaAs, полученных методом термического испарения. Установлено влияние температуры отжига на характеристики структур. Обнаружено, что при длительном хранении в комнатной атмосфере структуры не меняют своих свойств, что проявляется в стабильности электрических характеристик. 
653 |a арсенид галлия 
653 |a оксид галлия 
653 |a МОП-структуры 
653 |a вольт-фарадные характеристики 
653 |a вольт-сименсные характеристики 
655 4 |a статьи в журналах 
700 1 |a Калыгина, Вера Михайловна 
700 1 |a Петрова, Юлианна Сергеевна 
700 1 |a Прудаев, Илья Анатольевич 
700 1 |a Толбанов, Олег Петрович 
773 0 |t Известия высших учебных заведений. Физика  |d 2016  |g Т. 59, № 6. С. 3-6  |x 0021-3411  |w 0026-80960 
852 4 |a RU-ToGU 
856 4 |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001141259 
908 |a статья 
999 |c 1141259  |d 1141259