Рост эпитаксиальных пленок SiSn с высоким содержанием Sn для преобразователей в ИК-области

Проведены исследования роста соединений SiSn с содержанием Sn от 10 до 35 %. Изучена морфология и структура поверхности слоев SiSn, а также установлена кинетическая диаграмма морфологического состояния пленок SiSn в диапазоне температур 150-450 °С. При росте пленок SiSn от 150 до 300 °С наблюдались...

Full description

Bibliographic Details
Published in:Известия высших учебных заведений. Физика Т. 60, № 2. С. 135-140
Other Authors: Тимофеев, Вячеслав Алексеевич, Никифоров, Александр Иванович, Коханенко, Андрей Павлович, Туктамышев, Артур Раисович, Машанов, Владимир Иванович, Лошкарев, Иван Дмитриевич, Новиков, Вадим Александрович
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001141916
Перейти в каталог НБ ТГУ