Микроструктура и механические свойства покрытий Ti–Al–Ta–N, полученных методом сильноточного импульсного магнетронного распыления

Изучены состав, структура и механические свойства покрытий Ti–Al–Ta–N, полученных методами сильноточного импульсного магнетронного распыления и магнетронного распыления при постоянном токе. Установлено, что при сильноточном импульсном распылении ток и мощность магнетронного разряда экспоненциально в...

Full description

Bibliographic Details

Published in:	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 67, № 5. С. 100-107
Main Author:	Кузьминов, Евгений Дмитриевич
Other Authors:	Дербин, Алексей Юрьевич, Шугуров, Артур Рубинович
Format:	Article
Language:	Russian
Subjects:	сильноточное импульсное магнетронное распыление механические свойства структура элементный состав Ti-Al-Ta-N-покрытия статьи в журналах
Online Access:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001144063