Микроструктура и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N, полученных методом сильноточного импульсного магнетронного распыления
Изучены состав, структура и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N, полученных методами сильноточного импульсного магнетронного распыления и магнетронного распыления при постоянном токе. Установлено, что при сильноточном импульсном распылении ток и мощность магнетронного разряда экспоненциально...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 67, № 5. С. 100-107 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001144063 Перейти в каталог НБ ТГУ |