|
|
|
|
| LEADER |
03313nab a2200361 c 4500 |
| 001 |
koha001144063 |
| 005 |
20240924113527.0 |
| 007 |
cr | |
| 008 |
240920|2024 ru s c rus d |
| 024 |
7 |
|
|a 10.17223/00213411/67/5/12
|2 doi
|
| 035 |
|
|
|a koha001144063
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|
| 100 |
1 |
|
|a Кузьминов, Евгений Дмитриевич
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Микроструктура и механические свойства покрытий Ti–Al–Ta–N, полученных методом сильноточного импульсного магнетронного распыления
|c Е. Д. Кузьминов, А. Ю. Дербин, А. Р. Шугуров
|
| 246 |
1 |
1 |
|a Microstructure and mechanical properties of Ti–Al–Ta–N coatings obtained by high-power impulse magnetron sputtering
|
| 336 |
|
|
|a Текст
|
| 337 |
|
|
|a электронный
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: 20 назв.
|
| 506 |
|
|
|a Ограниченный доступ
|
| 520 |
3 |
|
|a Изучены состав, структура и механические свойства покрытий Ti–Al–Ta–N, полученных методами сильноточного импульсного магнетронного распыления и магнетронного распыления при постоянном токе. Установлено, что при сильноточном импульсном распылении ток и мощность магнетронного разряда экспоненциально возрастают во время импульса и достигают пиковых значений, которые на порядок величины превосходят аналогичные характеристики при распылении на постоянном токе. Высокий уровень ионизации распыленных частиц обусловил существенное увеличение количества ионов в потоке частиц, осаждаемых на подложку. Повышение интенсивности ионной бомбардировки растущих покрытий обеспечило подавление роста столбчатых зерен и формирование более плотной и однородной микроструктуры, что позволило улучшить их механические характеристики.
|
| 653 |
|
|
|a сильноточное импульсное магнетронное распыление
|
| 653 |
|
|
|a механические свойства
|
| 653 |
|
|
|a структура
|
| 653 |
|
|
|a элементный состав
|
| 653 |
|
|
|a Ti-Al-Ta-N-покрытия
|
| 655 |
|
4 |
|a статьи в журналах
|
| 700 |
1 |
|
|a Дербин, Алексей Юрьевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Шугуров, Артур Рубинович
|
| 773 |
0 |
|
|t Известия высших учебных заведений. Физика
|d 2024
|g Т. 67, № 5. С. 100-107
|x 0021-3411
|w 0026-80960
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|
| 856 |
4 |
|
|u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001144063
|
| 908 |
|
|
|a статья
|
| 999 |
|
|
|c 1144063
|d 1144063
|
