Микроструктура и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N, полученных методом сильноточного импульсного магнетронного распыления
Изучены состав, структура и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N, полученных методами сильноточного импульсного магнетронного распыления и магнетронного распыления при постоянном токе. Установлено, что при сильноточном импульсном распылении ток и мощность магнетронного разряда экспоненциально...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 67, № 5. С. 100-107 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001144063 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 03518nab a2200385 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | koha001144063 | ||
| 005 | 20240924113527.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 240920|2024 ru s c rus d | ||
| 024 | 7 | |a 10.17223/00213411/67/5/12 |2 doi | |
| 035 | |a koha001144063 | ||
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 100 | 1 | |a Кузьминов, Евгений Дмитриевич |9 488268 | |
| 245 | 1 | 0 | |a Микроструктура и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N, полученных методом сильноточного импульсного магнетронного распыления |c Е. Д. Кузьминов, А. Ю. Дербин, А. Р. Шугуров |
| 246 | 1 | 1 | |a Microstructure and mechanical properties of Ti-Al-Ta-N coatings obtained by high-power impulse magnetron sputtering |
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 504 | |a Библиогр.: 20 назв. | ||
| 506 | |a Ограниченный доступ | ||
| 520 | 3 | |a Изучены состав, структура и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N, полученных методами сильноточного импульсного магнетронного распыления и магнетронного распыления при постоянном токе. Установлено, что при сильноточном импульсном распылении ток и мощность магнетронного разряда экспоненциально возрастают во время импульса и достигают пиковых значений, которые на порядок величины превосходят аналогичные характеристики при распылении на постоянном токе. Высокий уровень ионизации распыленных частиц обусловил существенное увеличение количества ионов в потоке частиц, осаждаемых на подложку. Повышение интенсивности ионной бомбардировки растущих покрытий обеспечило подавление роста столбчатых зерен и формирование более плотной и однородной микроструктуры, что позволило улучшить их механические характеристики. | |
| 653 | |a сильноточное импульсное магнетронное распыление | ||
| 653 | |a механические свойства | ||
| 653 | |a структура | ||
| 653 | |a элементный состав | ||
| 653 | |a Ti-Al-Ta-N-покрытия | ||
| 655 | 4 | |a статьи в журналах |9 970998 | |
| 700 | 1 | |a Дербин, Алексей Юрьевич |9 970999 | |
| 700 | 1 | |a Шугуров, Артур Рубинович |9 250770 | |
| 773 | 0 | |t Известия высших учебных заведений. Физика |d 2024 |g Т. 67, № 5. С. 100-107 |x 0021-3411 |w 0026-80960 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001144063 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=1144063 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 999 | |c 1144063 |d 1144063 | ||
| 039 | |b 100 | ||