Средневолновые ФПУ форматом 640×512 элементов с шагом 15 мкм на основе слоев HgCdTe, выращенных методом МЛЭ на кремниевых подложках

Разработана конструкция и изготовлены матричные фотоприемники форматом 640×512 элементов с шагом 15 мкм с длинноволновой границей чувствительности 5.1 мкм на основе слоев теллурида кадмия и ртути, выращенных методом молекулярно-лучевой эпитаксии на подложках из кремния. Разработаны схема и топология...

Full description

Bibliographic Details
Published in:Известия высших учебных заведений. Физика Т. 67, № 7. С. 26-35
Other Authors: Сидоров, Юрий Георгиевич, Якушев, Максим Витальевич, Сабинина, Ирина Викторовна, Сидоров, Георгий Юрьевич, Васильев, Владимир Васильевич физик, Зверев, Алексей Викторович, Макаров, Юрий Сергеевич, Бударных, Виктор Иванович, Марчишин, Игорь Владимирович, Марин, Денис Викторович, Семенов, Михаил Павлович, Предеин, Александр Владиленович, Вишняков, Алексей Витальевич, Варавин, Василий Семенович, Ремесник, Владимир Григорьевич, Смолянин, Андрей Викторович, Сизиков, Павел Васильевич, Давыдова, Евгения Олеговна
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001144332
Description
Summary:Разработана конструкция и изготовлены матричные фотоприемники форматом 640×512 элементов с шагом 15 мкм с длинноволновой границей чувствительности 5.1 мкм на основе слоев теллурида кадмия и ртути, выращенных методом молекулярно-лучевой эпитаксии на подложках из кремния. Разработаны схема и топология, по которым изготовлены матричные мультиплексоры форматом 640×512 элементов с шагом 15 мкм, обеспечивающие рабочие режимы на тактовой частоте до 20 МГц. Методом гибридной сборки на индиевых столбах изготовлено матричное фотоприемное устройство форматом 640×512 элементов с шагом 15 мкм. Лучшие образцы характеризуются следующими параметрами: средняя величина разности температур, эквивалентной шуму < 18 мK, количество работоспособных элементов > 99.8%.
Bibliography:Библиогр.: 15 назв.
ISSN:0021-3411
Access:Ограниченный доступ