Средневолновые ФПУ форматом 640×512 элементов с шагом 15 мкм на основе слоев HgCdTe, выращенных методом МЛЭ на кремниевых подложках
Разработана конструкция и изготовлены матричные фотоприемники форматом 640×512 элементов с шагом 15 мкм с длинноволновой границей чувствительности 5.1 мкм на основе слоев теллурида кадмия и ртути, выращенных методом молекулярно-лучевой эпитаксии на подложках из кремния. Разработаны схема и топология...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 67, № 7. С. 26-35 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , , , , , , , , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001144332 |
| Summary: | Разработана конструкция и изготовлены матричные фотоприемники форматом 640×512 элементов с шагом 15 мкм с длинноволновой границей чувствительности 5.1 мкм на основе слоев теллурида кадмия и ртути, выращенных методом молекулярно-лучевой эпитаксии на подложках из кремния. Разработаны схема и топология, по которым изготовлены матричные мультиплексоры форматом 640×512 элементов с шагом 15 мкм, обеспечивающие рабочие режимы на тактовой частоте до 20 МГц. Методом гибридной сборки на индиевых столбах изготовлено матричное фотоприемное устройство форматом 640×512 элементов с шагом 15 мкм. Лучшие образцы характеризуются следующими параметрами: средняя величина разности температур, эквивалентной шуму < 18 мK, количество работоспособных элементов > 99.8%. |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: 15 назв. |
| ISSN: | 0021-3411 |
| Access: | Ограниченный доступ |
