Просветляющие интерференционные оксидные покрытия среднего ИК-диапазона для полупроводниковых оптических подложек
Определены дисперсии показателя преломления и коэффициента поглощения для монослоев оксида титана и оксида кремния. Разработан дизайн многослойного просветляющего оптического покрытия данных материалов в спектральном диапазоне 0.4–8 мкм. Подобраны режимы нанесения покрытия методом ионно-лучевого рас...
Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 67, № 5. С. 15-19 |
---|---|
Other Authors: | , , , , , , , |
Format: | Article |
Language: | Russian |
Subjects: | |
Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001144847 |
Summary: | Определены дисперсии показателя преломления и коэффициента поглощения для монослоев оксида титана и оксида кремния. Разработан дизайн многослойного просветляющего оптического покрытия данных материалов в спектральном диапазоне 0.4–8 мкм. Подобраны режимы нанесения покрытия методом ионно-лучевого распыления на полупроводниковую подложку. Измерены оптические характеристики четырехслойного интерференционного покрытия с просветлением подложки ZGP в диапазоне 2097 нм и 3.5–5 мкм, с остаточным отражением R ≤ 0.2% и R ≤ 2.1% соответственно. Проведены тесты на адгезию и истирание покрытия согласно ГОСТ. |
---|---|
Bibliography: | Библиогр.: 12 назв. |
ISSN: | 0021-3411 |
Access: | Ограниченный доступ |