Просветляющие интерференционные оксидные покрытия среднего ИК-диапазона для полупроводниковых оптических подложек

Определены дисперсии показателя преломления и коэффициента поглощения для монослоев оксида титана и оксида кремния. Разработан дизайн многослойного просветляющего оптического покрытия данных материалов в спектральном диапазоне 0.4-8 мкм. Подобраны режимы нанесения покрытия методом ионно-лучевого р...

Полное описание

Библиографическая информация
Опубликовано в: :Известия высших учебных заведений. Физика Т. 67, № 5. С. 15-19
Другие авторы: Юдин, Николай Николаевич, Зиновьев, Михаил Михайлович, Подзывалов, Сергей Николаевич, Кузнецов, Владимир Сергеевич, Слюнько, Елена Сергеевна, Габдрахманов, Акмаль Шамилович, Лысенко, Алексей Борисович, Кальсин, Андрей Юрьевич
Формат: Статья в журнале
Язык:Russian
Предметы:
Online-ссылка:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001144847
Перейти в каталог НБ ТГУ
Описание
Итог:Определены дисперсии показателя преломления и коэффициента поглощения для монослоев оксида титана и оксида кремния. Разработан дизайн многослойного просветляющего оптического покрытия данных материалов в спектральном диапазоне 0.4-8 мкм. Подобраны режимы нанесения покрытия методом ионно-лучевого распыления на полупроводниковую подложку. Измерены оптические характеристики четырехслойного интерференционного покрытия с просветлением подложки ZGP в диапазоне 2097 нм и 3.5-5 мкм, с остаточным отражением R ≤ 0.2% и R ≤ 2.1% соответственно. Проведены тесты на адгезию и истирание покрытия согласно ГОСТ.
Библиография:Библиогр.: 12 назв.
ISSN:0021-3411
Доступ:Ограниченный доступ