Просветляющие интерференционные оксидные покрытия среднего ИК-диапазона для полупроводниковых оптических подложек
Определены дисперсии показателя преломления и коэффициента поглощения для монослоев оксида титана и оксида кремния. Разработан дизайн многослойного просветляющего оптического покрытия данных материалов в спектральном диапазоне 0.4-8 мкм. Подобраны режимы нанесения покрытия методом ионно-лучевого р...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 67, № 5. С. 15-19 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001144847 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 03393nab a2200457 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | koha001144847 | ||
| 005 | 20250131162643.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 241001|2024 ru s c rus d | ||
| 024 | 7 | |a 10.17223/00213411/67/5/2 |2 doi | |
| 035 | |a koha001144847 | ||
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Просветляющие интерференционные оксидные покрытия среднего ИК-диапазона для полупроводниковых оптических подложек |c Н. Н. Юдин, М. М. Зиновьев, С. Н. Подзывалов [и др.] |
| 246 | 1 | 1 | |a Mid-IR antireflective interference oxide coatings for semiconductor optical substrates |
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 504 | |a Библиогр.: 12 назв. | ||
| 506 | |a Ограниченный доступ | ||
| 520 | 3 | |a Определены дисперсии показателя преломления и коэффициента поглощения для монослоев оксида титана и оксида кремния. Разработан дизайн многослойного просветляющего оптического покрытия данных материалов в спектральном диапазоне 0.4-8 мкм. Подобраны режимы нанесения покрытия методом ионно-лучевого распыления на полупроводниковую подложку. Измерены оптические характеристики четырехслойного интерференционного покрытия с просветлением подложки ZGP в диапазоне 2097 нм и 3.5-5 мкм, с остаточным отражением R ≤ 0.2% и R ≤ 2.1% соответственно. Проведены тесты на адгезию и истирание покрытия согласно ГОСТ. | |
| 653 | |a ионно-лучевое распыление | ||
| 653 | |a оксид титана | ||
| 653 | |a оксид кремния | ||
| 653 | |a дисперсия | ||
| 653 | |a интерференционные покрытия | ||
| 655 | 4 | |a статьи в журналах |9 972388 | |
| 700 | 1 | |a Юдин, Николай Николаевич |9 350581 | |
| 700 | 1 | |a Зиновьев, Михаил Михайлович |9 99804 | |
| 700 | 1 | |a Подзывалов, Сергей Николаевич |9 567774 | |
| 700 | 1 | |a Кузнецов, Владимир Сергеевич |9 95144 | |
| 700 | 1 | |a Слюнько, Елена Сергеевна |9 766931 | |
| 700 | 1 | |a Габдрахманов, Акмаль Шамилович |9 972393 | |
| 700 | 1 | |a Лысенко, Алексей Борисович |9 892825 | |
| 700 | 1 | |a Кальсин, Андрей Юрьевич |9 899214 | |
| 773 | 0 | |t Известия высших учебных заведений. Физика |d 2024 |g Т. 67, № 5. С. 15-19 |x 0021-3411 |w 0026-80960 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001144847 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=1144847 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 942 | |2 udc | ||
| 039 | |b 100 | ||
| 999 | |c 1144847 |d 1144847 | ||