Распределение массы кремнийорганического покрытия в плазмохимическом реакторе на основе тлеющего разряда в потоке газа

Метод плазмохимического осаждения из паровой фазы позво-ляет синтезировать широкий спектр различных материалов, в частности кремний-органические полимер-подобные покрытия. В настоящей работе для осаждения полимер-подобного покрытия используется плазмохимический реактор с коакси-ально расположенными...

Full description

Bibliographic Details

Published in:	Вестник Томского государственного университета. Химия № 34. С. 120-131
Other Authors:	Зуза, Даниил Александрович, Нехорошев, Виталий Олегович, Батраков, Александр Владимирович, Курзина, Ирина Александровна
Format:	Article
Language:	Russian
Subjects:	тлеющий разряд плазменная полимеризация полимерподобные покрытия кремнийорганические покрытия плазмохимическое осаждение из газовой фазы статьи в журналах
Online Access:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001145264