Распределение массы кремнийорганического покрытия в плазмохимическом реакторе на основе тлеющего разряда в потоке газа
Метод плазмохимического осаждения из паровой фазы позво-ляет синтезировать широкий спектр различных материалов, в частности кремний-органические полимер-подобные покрытия. В настоящей работе для осаждения полимер-подобного покрытия используется плазмохимический реактор с коакси-ально расположен...
| Published in: | Вестник Томского государственного университета. Химия № 34. С. 120-131 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001145264 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 06078nab a2200373 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | koha001145264 | ||
| 005 | 20250325132406.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 241008|2024 ru s c rus d | ||
| 024 | 7 | |a 10.17223/24135542/34/10 |2 doi | |
| 035 | |a koha001145264 | ||
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Распределение массы кремнийорганического покрытия в плазмохимическом реакторе на основе тлеющего разряда в потоке газа |c Д. А. Зуза, В. О. Нехорошев, А. В. Батраков, И. А. Курзина |
| 246 | 1 | 1 | |a Organosilicon coating mass distribution in plasma-chemical reactor based on glow discharge in gas flow |
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 520 | 3 | |a Метод плазмохимического осаждения из паровой фазы позво-ляет синтезировать широкий спектр различных материалов, в частности кремний-органические полимер-подобные покрытия. В настоящей работе для осаждения полимер-подобного покрытия используется плазмохимический реактор с коакси-ально расположенными полыми электродами, в котором тлеющий разряд посто-янного тока поддерживается в потоке плазмообразующего газа при низком дав-лении. В качестве плазмообразующего газа использовался аргон, расход которого составлял 230 мг/мин. В качестве исходного соединения для осаждения исполь-зовался гексаметилдисилоксан, выступающий молекулярной примесью в потоке инертного газа, его расход составлял 10 мг/мин. Цель настоящей работы - экспери-ментальное исследование распределения массы осажденного кремнийорганиче-ского полимер-подобного покрытия на различных составляющих частях плазмохи-мической системы на основе тлеющего разряда - на внутренних поверхностях реактора и на подложке, расположенной на расстоянии 15 мм от сопла реактора. Эксперимент показал, что при мощности разряда 30 Вт суммарная измеренная масса покрытия составила 33 мг. Таким образом, массовое преобразование ис-ходного вещества составило более 33%. Показано, что около 90% всей измеренной массы покрытия осело внутри плазмохимического реактора - на внутренней по-верхности полого катода и внутренней поверхности стеклянной трубки, и 10% на подложке. Таким образом, настоящую систему можно использовать не только для удаленного локального осаждения, но и для покрывания внутренних стенок трубок полимер-подобным покрытием. Также было выявлено, что в связи с раз-личием условий протекания процессов в катодных слоях и плазме положитель-ного столба тлеющего разряда возникают некоторые особенности осаждения на различные поверхности в системе. Например, с помощью оптического микро-скопа была исследована микроструктура покрытий, полученных на катоде, стек-лянной трубке и подложке. Выявлено, что покрытия состоят из округлых микро-частиц и имеют существенное различие: средний размер микрочастиц на стек-лянной трубке и подложке составляет 2-5 мкм, что на порядок ниже среднего размера частиц, осажденных на катоде. | |
| 653 | |a тлеющий разряд | ||
| 653 | |a плазменная полимеризация | ||
| 653 | |a полимерподобные покрытия | ||
| 653 | |a кремнийорганические покрытия | ||
| 653 | |a плазмохимическое осаждение из газовой фазы | ||
| 655 | 4 | |a статьи в журналах |9 973077 | |
| 700 | 1 | |a Зуза, Даниил Александрович |9 104515 | |
| 700 | 1 | |a Нехорошев, Виталий Олегович |9 561973 | |
| 700 | 1 | |a Батраков, Александр Владимирович |9 188102 | |
| 700 | 1 | |a Курзина, Ирина Александровна |9 66528 | |
| 773 | 0 | |t Вестник Томского государственного университета. Химия |d 2024 |g № 34. С. 120-131 |x 2413-5542 |w to000518048 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001145264 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=1145264 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 999 | |c 1145264 |d 1145264 | ||
| 039 | |b 56 | ||