|
|
|
|
| LEADER |
05835nab a2200349 c 4500 |
| 001 |
koha001145264 |
| 005 |
20241127170349.0 |
| 007 |
cr | |
| 008 |
241008|2024 ru s c rus d |
| 024 |
7 |
|
|a 10.17223/24135542/34/10
|2 doi
|
| 035 |
|
|
|a koha001145264
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Распределение массы кремнийорганического покрытия в плазмохимическом реакторе на основе тлеющего разряда в потоке газа
|c Д. А. Зуза, В. О. Нехорошев, А. В. Батраков, И. А. Курзина
|
| 246 |
1 |
1 |
|a Organosilicon coating mass distribution in plasma-chemical reactor based on glow discharge in gas flow
|
| 336 |
|
|
|a Текст
|
| 337 |
|
|
|a электронный
|
| 520 |
3 |
|
|a Метод плазмохимического осаждения из паровой фазы позво-ляет синтезировать широкий спектр различных материалов, в частности кремний-органические полимер-подобные покрытия. В настоящей работе для осаждения полимер-подобного покрытия используется плазмохимический реактор с коакси-ально расположенными полыми электродами, в котором тлеющий разряд посто-янного тока поддерживается в потоке плазмообразующего газа при низком дав-лении. В качестве плазмообразующего газа использовался аргон, расход которого составлял 230 мг/мин. В качестве исходного соединения для осаждения исполь-зовался гексаметилдисилоксан, выступающий молекулярной примесью в потоке инертного газа, его расход составлял 10 мг/мин. Цель настоящей работы – экспери-ментальное исследование распределения массы осажденного кремнийорганиче-ского полимер-подобного покрытия на различных составляющих частях плазмохи-мической системы на основе тлеющего разряда – на внутренних поверхностях реактора и на подложке, расположенной на расстоянии 15 мм от сопла реактора. Эксперимент показал, что при мощности разряда 30 Вт суммарная измеренная масса покрытия составила 33 мг. Таким образом, массовое преобразование ис-ходного вещества составило более 33%. Показано, что около 90% всей измеренной массы покрытия осело внутри плазмохимического реактора – на внутренней по-верхности полого катода и внутренней поверхности стеклянной трубки, и 10% на подложке. Таким образом, настоящую систему можно использовать не только для удаленного локального осаждения, но и для покрывания внутренних стенок трубок полимер-подобным покрытием. Также было выявлено, что в связи с раз-личием условий протекания процессов в катодных слоях и плазме положитель-ного столба тлеющего разряда возникают некоторые особенности осаждения на различные поверхности в системе. Например, с помощью оптического микро-скопа была исследована микроструктура покрытий, полученных на катоде, стек-лянной трубке и подложке. Выявлено, что покрытия состоят из округлых микро-частиц и имеют существенное различие: средний размер микрочастиц на стек-лянной трубке и подложке составляет 2–5 мкм, что на порядок ниже среднего размера частиц, осажденных на катоде.
|
| 653 |
|
|
|a тлеющий разряд
|
| 653 |
|
|
|a плазменная полимеризация
|
| 653 |
|
|
|a полимерподобные покрытия
|
| 653 |
|
|
|a кремнийорганические покрытия
|
| 653 |
|
|
|a плазмохимическое осаждение из газовой фазы
|
| 655 |
|
4 |
|a статьи в журналах
|
| 700 |
1 |
|
|a Зуза, Даниил Александрович
|
| 700 |
1 |
|
|a Нехорошев, Виталий Олегович
|
| 700 |
1 |
|
|a Батраков, Александр Владимирович
|
| 700 |
1 |
|
|a Курзина, Ирина Александровна
|
| 773 |
0 |
|
|t Вестник Томского государственного университета. Химия
|d 2024
|g № 34. С. 120-131
|x 2413-5542
|w to000518048
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|
| 856 |
4 |
|
|u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001145264
|
| 908 |
|
|
|a статья
|
| 999 |
|
|
|c 1145264
|d 1145264
|
