Распределение массы кремнийорганического покрытия в плазмохимическом реакторе на основе тлеющего разряда в потоке газа

Распределение массы кремнийорганического покрытия в плазмохимическом реакторе на основе тлеющего разряда в потоке газа

Метод плазмохимического осаждения из паровой фазы позво-ляет синтезировать широкий спектр различных материалов, в частности кремний-органические полимер-подобные покрытия. В настоящей работе для осаждения полимер-подобного покрытия используется плазмохимический реактор с коакси-ально расположен...

Полное описание

Библиографическая информация
Опубликовано в: :	Вестник Томского государственного университета. Химия № 34. С. 120-131
Другие авторы:	Зуза, Даниил Александрович, Нехорошев, Виталий Олегович, Батраков, Александр Владимирович, Курзина, Ирина Александровна
Формат:	Статья в журнале
Язык:	Russian
Предметы:	тлеющий разряд плазменная полимеризация полимерподобные покрытия кремнийорганические покрытия плазмохимическое осаждение из газовой фазы статьи в журналах
Online-ссылка:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001145264 Перейти в каталог НБ ТГУ

Похожие документы

Химическое строение покрытий, осажденных при активации гексаметилдисилоксана в тлеющем разряде в потоке газа

Синтез и исследование кремнийорганических покрытий, полученных из плазмы положительного столба тлеющего разряда в потоке аргона
по: Зуза, Даниил Александрович

Диэлектрические кремнийорганические покрытия, полученные методом удаленного осаждения из тлеющего разряда в потоке смеси аргон/гексаметилдисилоксан диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : 2.6.17
по: Зуза, Даниил Александрович
Публикация: (2024)

Characterization of hexamethyldisiloxane plasma polymerization in a DC glow discharge in an argon flow

Теория тлеющего разряда высокого давления
по: Кожевников, Василий Юрьевич

Широкоапертурные низкоэнергетичные ускорители электронов АО "НИИЭФА" на основе высоковольтного тлеющего разряда

Влияние полевой электронной эмиссии из катода с диэлектрической пленкой на характеристики нормального тлеющего разряда
по: Бондаренко, Геннадий Германович 1945-

Теория тлеющего разряда с дополнительной эмиссией на катоде
по: Кожевников, Василий Юрьевич

Исследование ионного тока из источника на основе тлеющего разряда
по: Евтушенко, Антон Борисович

Особенности генерации однородных газоразрядных пучково-плазменных образований в протяженном полом катоде сильноточного тлеющего разряда

Особенности источника ионов на основе тлеющего разряда для углеводородов
по: Чепкасов, Сергей Юрьевич

Азотирование конструкционных сталей в плазме дугового и тлеющего разрядов
по: Вершинин, Данил Сергеевич

Особенности формирования паразитного тока в отпаянном тиратроне с холодным катодом с узлом запуска на основе вспомогательного тлеющего разряда

Влияние анода несамостоятельного тлеющего разряда с полым катодом на пространственное распределение концентрации плазмы

Источник ионов на основе вакуумного дугового и тлеющего разрядов для модификации поверхности полимерных материалов

Исследование влияния стехиометрического состава покрытия и режимов термообработки на фазовый состав покрытий системы Y-Al-O

Разделение смеси газов в положительном столбе тлеющего разряда диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
по: Пекар, Юрий Александрович
Публикация: (1969)

Тлеющий разряд повышенного давления
по: Голубев, Владимир Сергеевич
Публикация: (1990)

Исследование зависимости заселенностей метастабильных состояний атомов аргона от условий возбуждения высокочастотного тлеющего разряда

Методы оценки концентрации плазмы в полом аноде большого объема

Плазменные покрытия с нанокристаллической и аморфной структурой
по: Калита, Василий Иванович
Публикация: (2008)

Начальные стадии возникновения коронного разряда во влажном пористом оксидном слое при прохождении тока высокого напряжения

Протяженный цилиндрический плазменный эмиттер на основе дугового разряда низкого давления для генерации радиально расходящегося электронного пучка

Влияние продолжительности обработки в тлеющем разряде на микротвердость многокомпонентного сплава

Краски, покрытия и растворители
Публикация: (2007)

Электрический ток в газе. Установившийся ток
по: Грановский, Вениамин Львович
Публикация: (1971)

Несамостоятельный тлеющий разряд c полым катодом при низких напряжениях горения

Перенос плазмы в условиях протекающего тока
по: Медведев, Алексей Эдуардович

Plasma-assisted deposition of dielectric conformal coating using hexamethyldisiloxane as precursor

Нанесение медного покрытия на алюминиевые контактные поверхности плазмодинамическим методом автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.14.12
по: Шаненкова, Ю. Л. специалист в области электроэнергетики доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук 1991-
Публикация: (2019)

Методы упрочнения конструкционных материалов. Функциональные покрытия электронное учебное издание : [для студентов по направлению подготовки 22.04.01 "Материаловедение и технологии материалов"]
по: Гончаров, Виталий Степанович
Публикация: (2017)

Nanosecond triggering for sealed-off cold cathode thyratrons with a trigger unit based on an auxiliary glow discharge

Технология и оборудование для нанесения полимерных покрытий в электрическом поле: научное издание/
по: Верещагин, И. П. Игорь Петрович, et al.
Публикация: (1990)

Formation of nitrogen oxides in an apokamp-type plasma source

Спектроскопическое определение некоторых электрических характеристик в тлеющем разряде диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
по: Сончик, Вера Константиновна
Публикация: (1954)

Влияние газовой среды на процесс азотирования технически чистого титана в несамостоятельном тлеющем разряде низкого давления
по: Ахмадеев, Юрий Халяфович

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
по: Грудинин, В. А. физик инженер Томского политехнического университета 1995-
Публикация: (2022)

Effect of preliminary vacuum plasma treatment on coating adhesion
по: Slabodchikov, Vladimir A.

Исследование перспективных жаростойких покрытий систем Y−Al−O и Ti−Al−C

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Публикация: (2014)