Распределение массы кремнийорганического покрытия в плазмохимическом реакторе на основе тлеющего разряда в потоке газа

Метод плазмохимического осаждения из паровой фазы позво-ляет синтезировать широкий спектр различных материалов, в частности кремний-органические полимер-подобные покрытия. В настоящей работе для осаждения полимер-подобного покрытия используется плазмохимический реактор с коакси-ально расположенными...

Полное описание

Библиографическая информация

Опубликовано в: :	Вестник Томского государственного университета. Химия № 34. С. 120-131
Другие авторы:	Зуза, Даниил Александрович, Нехорошев, Виталий Олегович, Батраков, Александр Владимирович, Курзина, Ирина Александровна
Формат:	Статья в журнале
Язык:	Russian
Предметы:	тлеющий разряд плазменная полимеризация полимерподобные покрытия кремнийорганические покрытия плазмохимическое осаждение из газовой фазы статьи в журналах
Online-ссылка:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001145264