Температурные особенности сверхструктурных переходов при росте наноструктур Ge/Si (111)

Представлены результаты исследования процессов эпитаксиального роста германия на кремнии с кристаллографической ориентацией (111) в широком интервале температур. С помощью метода дифракции быстрых отраженных электронов определены температурные зависимости продолжительности стадии перехода из сверхст...

Full description

Bibliographic Details
Published in:XII Международная конференция по фотонике и информационной оптике : сборник научных трудов С. 288-289
Other Authors: Лозовой, Кирилл Александрович, Дирко, Владимир Владиславович, Кукенов, Олжас Игоревич, Коханенко, Андрей Павлович
Format: Book Chapter
Language:Russian
Subjects:
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001145854
LEADER 02702naa a2200349 c 4500
001 koha001145854
005 20241212180511.0
007 cr |
008 241016s2023 ru fs 100 0 rus d
035 |a koha001145854 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU 
245 1 0 |a Температурные особенности сверхструктурных переходов при росте наноструктур Ge/Si (111)  |c К. А. Лозовой, В. В. Дирко, О. И. Кукенов, А. П. Коханенко 
246 1 1 |a Temperature peculiarities of superstructure transitions during growth of Ge/Si (111) nanostructures 
336 |a Текст 
337 |a электронный 
504 |a Библиогр.: 2 назв. 
520 3 |a Представлены результаты исследования процессов эпитаксиального роста германия на кремнии с кристаллографической ориентацией (111) в широком интервале температур. С помощью метода дифракции быстрых отраженных электронов определены температурные зависимости продолжительности стадии перехода из сверхструктуры 7 x 7 в 5 x 5 и значения критической толщины перехода от двумерного к трехмерному росту в диапазоне от 250 до 700 °C. Показано, что время перехода от сверхструктуры 7 x 7 к сверхструктуре 5 х 5 зависит от температуры эпитаксиального роста. 
653 |a эпитаксиальный рост 
653 |a германий 
653 |a кремний 
653 |a экспериментальные исследования 
653 |a сверхструктурные переходы 
655 4 |a статьи в сборниках 
700 1 |a Лозовой, Кирилл Александрович 
700 1 |a Дирко, Владимир Владиславович 
700 1 |a Кукенов, Олжас Игоревич 
700 1 |a Коханенко, Андрей Павлович 
773 0 |t XII Международная конференция по фотонике и информационной оптике : сборник научных трудов  |d М., 2023  |g С. 288-289  |z 9785726229317 
852 4 |a RU-ToGU 
856 4 |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001145854 
908 |a статья 
999 |c 1145854  |d 1145854