Влияние прозрачных пленок на основе Ta, Si, Al, N на локальные повреждения поверхности кварцевых пластин при воздействии высокоскоростного потока микрочастиц

Исследованы структура и свойства полученных методом импульсного магнетронного распыления тонких двухслойных пленок на кварцевых подложках: I – на основе Ta/AlSiN и II – на основе AlSiN/TaN. Величина светопропускания в видимом и ультрафиолетовом диапазонах, определенная по спектральным кривым, имеет...

Полное описание

Библиографическая информация

Опубликовано в: :	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 67, № 9. С. 66-74
Другие авторы:	Турсунханова, Рыскуль Болаткызы, Сергеев, Виктор Петрович 1949-, Калашников, Марк Петрович, Сергеев, Олег Викторович, Воронов, Андрей Викторович, Христенко, Юрий Федорович, Жалнин, Евгений Викторович
Формат:	Статья в журнале
Язык:	Russian
Предметы:	магнетронное распыление стекло двухслойное защитное покрытие высокоскоростные частицы удары кратеры статьи в журналах
Online-ссылка:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001146281