Влияние прозрачных пленок на основе Ta, Si, Al, N на локальные повреждения поверхности кварцевых пластин при воздействии высокоскоростного потока микрочастиц

Исследованы структура и свойства полученных методом импульсного магнетронного распыления тонких двухслойных пленок на кварцевых подложках: I – на основе Ta/AlSiN и II – на основе AlSiN/TaN. Величина светопропускания в видимом и ультрафиолетовом диапазонах, определенная по спектральным кривым, имеет...

Full description

Bibliographic Details
Published in:Известия высших учебных заведений. Физика Т. 67, № 9. С. 66-74
Other Authors: Турсунханова, Рыскуль Болаткызы, Сергеев, Виктор Петрович 1949-, Калашников, Марк Петрович, Сергеев, Олег Викторович, Воронов, Андрей Викторович, Христенко, Юрий Федорович, Жалнин, Евгений Викторович
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001146281
LEADER 03970nab a2200421 c 4500
001 koha001146281
005 20241024131307.0
007 cr |
008 241022|2024 ru s c rus d
024 7 |a 10.17223/00213411/67/9/7  |2 doi 
035 |a koha001146281 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU 
245 1 0 |a Влияние прозрачных пленок на основе Ta, Si, Al, N на локальные повреждения поверхности кварцевых пластин при воздействии высокоскоростного потока микрочастиц  |c Р. Б. Турсунханова, В. П. Сергеев, М. П. Калашников [и др.] 
246 1 1 |a Influence of transparent films based on Ta, Si, Al, and N on local surface damage of quartz plates under the impact of high-velocity micro-particle flow 
336 |a Текст 
337 |a электронный 
504 |a Библиогр.: 29 назв. 
506 |a Ограниченный доступ 
520 3 |a Исследованы структура и свойства полученных методом импульсного магнетронного распыления тонких двухслойных пленок на кварцевых подложках: I – на основе Ta/AlSiN и II – на основе AlSiN/TaN. Величина светопропускания в видимом и ультрафиолетовом диапазонах, определенная по спектральным кривым, имеет среднее значение, близкое 59 и 24% соответственно. Оба слоя AlSiN в покрытии I и верхний слой TaN в покрытии II формируются в наноструктурном состоянии, нижний слой AlSiN в покрытии II разделяется на два: прилежащий к подложке – аморфный, располагающийся выше него – в аморфно-кристаллическом состоянии. Покрытие II имеет более высокую адгезию к кварцевой подложке по сравнению с покрытием I. Установлено, что покрытие I на основе Ta/AlSiN имеет более высокие на 15–20% механические свойства, такие как микротвердость и коэффициент упругого восстановления, что придает стеклу более высокий защитный эффект от локальных микроповреждений поверхности (кратеров) при ударах высокоскоростных микрочастиц железного порошка. 
653 |a магнетронное распыление 
653 |a стекло 
653 |a двухслойное защитное покрытие 
653 |a высокоскоростные частицы 
653 |a удары 
653 |a кратеры 
655 4 |a статьи в журналах 
700 1 |a Турсунханова, Рыскуль Болаткызы 
700 1 |a Сергеев, Виктор Петрович  |d 1949- 
700 1 |a Калашников, Марк Петрович 
700 1 |a Сергеев, Олег Викторович 
700 1 |a Воронов, Андрей Викторович 
700 1 |a Христенко, Юрий Федорович 
700 1 |a Жалнин, Евгений Викторович 
773 0 |t Известия высших учебных заведений. Физика  |d 2024  |g Т. 67, № 9. С. 66-74  |x 0021-3411  |w 0026-80960 
852 4 |a RU-ToGU 
856 4 |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001146281 
908 |a статья 
999 |c 1146281  |d 1146281