Синтез и исследование кремнийорганических покрытий, полученных из плазмы положительного столба тлеющего разряда в потоке аргона

The results of experiments on remote plasma-chemical deposition of organosilicon polymer coatings are discussed. The activation processes of hexamethyldisiloxane molecules occur in the positive column region. The main operating modes of the plasma-chemical system were found and the chemical structur...

Full description

Bibliographic Details

Published in:	Перспективы развития фундаментальных наук. Т. 2 : сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, 25–28 апреля 2023 г. Т. 2 : Химия. С. 87-89
Main Author:	Зуза, Даниил Александрович
Other Authors:	Нехорошев, Виталий Олегович
Format:	Book Chapter
Language:	Russian
Subjects:	кремнийорганические покрытия плазмохимическое осаждение из газовой фазы экспериментальные исследования статьи в сборниках
Online Access:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001146741