Синтез и исследование кремнийорганических покрытий, полученных из плазмы положительного столба тлеющего разряда в потоке аргона

The results of experiments on remote plasma-chemical deposition of organosilicon polymer coatings are discussed. The activation processes of hexamethyldisiloxane molecules occur in the positive column region. The main operating modes of the plasma-chemical system were found and the chemical structur...

Full description

Bibliographic Details
Published in:Перспективы развития фундаментальных наук. Т. 2 : сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, 25–28 апреля 2023 г. Т. 2 : Химия. С. 87-89
Main Author: Зуза, Даниил Александрович
Other Authors: Нехорошев, Виталий Олегович
Format: Book Chapter
Language:Russian
Subjects:
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001146741
LEADER 02111naa a2200301 c 4500
001 koha001146741
005 20241101163255.0
007 cr |
008 241027s2023 ru fs 100 0 rus d
035 |a koha001146741 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU 
100 1 |a Зуза, Даниил Александрович 
245 1 0 |a Синтез и исследование кремнийорганических покрытий, полученных из плазмы положительного столба тлеющего разряда в потоке аргона  |c Д. А. Зуза, В. О. Нехорошев 
246 1 1 |a Synthesis and investigation of organosilicon coatings obtained from positive column of glow discharge in an argon flow 
336 |a Текст 
337 |a электронный 
504 |a Библиогр.: 7 назв. 
520 3 |a The results of experiments on remote plasma-chemical deposition of organosilicon polymer coatings are discussed. The activation processes of hexamethyldisiloxane molecules occur in the positive column region. The main operating modes of the plasma-chemical system were found and the chemical structure of polymer coatings was investigated. 
653 |a кремнийорганические покрытия 
653 |a плазмохимическое осаждение из газовой фазы 
653 |a экспериментальные исследования 
655 4 |a статьи в сборниках 
700 1 |a Нехорошев, Виталий Олегович 
773 0 |t Перспективы развития фундаментальных наук. Т. 2 : сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, 25–28 апреля 2023 г.  |d Томск, 2023  |g Т. 2 : Химия. С. 87-89  |z 9785438711384  |z 9785438711360 
852 4 |a RU-ToGU 
856 4 |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001146741 
908 |a статья 
999 |c 1146741  |d 1146741