Синтез и исследование кремнийорганических покрытий, полученных из плазмы положительного столба тлеющего разряда в потоке аргона
The results of experiments on remote plasma-chemical deposition of organosilicon polymer coatings are discussed. The activation processes of hexamethyldisiloxane molecules occur in the positive column region. The main operating modes of the plasma-chemical system were found and the chemical structur...
| Published in: | Перспективы развития фундаментальных наук. Т. 2 : сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, 25–28 апреля 2023 г. Т. 2 : Химия. С. 87-89 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Format: | Book Chapter |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001146741 |