Свойства нанокомпозитных никель-углеродных пленок, формируемых методом магнетронного распыления
Методом магнетронного распыления получены a-C- и a-C:Ni-пленки на подложках из монокристаллического кремния и термоэлектрического материала n-типа ((Bi₂Te₃)₀.₉₄(Bi₂Se₃)₀.₀₆) и p-типа ((Bi₂Te₃)₀.₂₀(Sb₂Te₃)₀.₈₀) проводимости. Изучено влияние концентрации Ni на удельное электрическое сопротивление, тве...
| Опубликовано в: : | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 60, № 8. С. 21-25 |
|---|---|
| Другие авторы: | , , , , , , , , |
| Формат: | Статья в журнале |
| Язык: | Russian |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001146871 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 04064nab a2200457 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | koha001146871 | ||
| 005 | 20241104202932.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 241029|2017 ru s c rus d | ||
| 035 | |a koha001146871 | ||
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Свойства нанокомпозитных никель-углеродных пленок, формируемых методом магнетронного распыления |c А. С. Гренадёров, К. В. Оскомов, А. А. Соловьёв [и др.] |
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 504 | |a Библиогр.: 21 назв. | ||
| 520 | 3 | |a Методом магнетронного распыления получены a-C- и a-C:Ni-пленки на подложках из монокристаллического кремния и термоэлектрического материала n-типа ((Bi₂Te₃)₀.₉₄(Bi₂Se₃)₀.₀₆) и p-типа ((Bi₂Te₃)₀.₂₀(Sb₂Te₃)₀.₈₀) проводимости. Изучено влияние концентрации Ni на удельное электрическое сопротивление, твердость и адгезию полученных пленок. Показано, что удельное сопротивление a-C-пленок, наносимых распылением графитовой мишени при подаче высоковольтного напряжения смещения на подложку, может быть снижено за счет увеличения доли графитизированного углерода. Добавление Ni в такие пленки позволяет дополнительно снизить их удельное сопротивление. С увеличением содержания Ni происходит снижение твердости и адгезии a-C:Ni-пленок. Полученные значения удельного электрического сопротивления и адгезии a-C:Ni-пленок к термоэлектрическим материалам позволяют использовать их в качестве барьерных антидиффузионных покрытий термоэлектрических модулей. | |
| 653 | |a нанокомпозиционные материалы | ||
| 653 | |a аморфные углеродные пленки | ||
| 653 | |a магнетронное распыление | ||
| 653 | |a термоэлектрические преобразователи | ||
| 653 | |a антидиффузионные слои | ||
| 653 | |a проводимость | ||
| 653 | |a твердость | ||
| 653 | |a адгезия | ||
| 655 | 4 | |a статьи в журналах |9 975736 | |
| 700 | 1 | |a Гренадеров, Александр Сергеевич |9 487423 | |
| 700 | 1 | |a Оскомов, Константин Владимирович |9 384423 | |
| 700 | 1 | |a Соловьев, Андрей Александрович |9 347479 | |
| 700 | 1 | |a Работкин, Сергей Викторович |9 500432 | |
| 700 | 1 | |a Захаров, Александр Николаевич |9 285688 | |
| 700 | 1 | |a Семенов, Вячеслав Аркадьевич |9 500433 | |
| 700 | 1 | |a Оскирко, Владимир Олегович |9 500434 | |
| 700 | 1 | |a Елгин, Юрий Игоревич |9 975743 | |
| 700 | 1 | |a Корнева, Ольга Сергеевна |9 506940 | |
| 773 | 0 | |t Известия высших учебных заведений. Физика |d 2017 |g Т. 60, № 8. С. 21-25 |x 0021-3411 |w 0026-80960 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001146871 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=1146871 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 039 | |b 100 | ||
| 999 | |c 1146871 |d 1146871 | ||