Свойства пленок молибдена, формируемых методом сильноточного импульсного магнетронного распыления

Приведены результаты экспериментов по осаждению тонких пленок молибдена на стеклянные подложки методом сильноточного импульсного магнетронного распыления. Использовались два сильноточных режима, отличающиеся частотой повторения импульсов и их длительностью. Свойства полученных молибденовых пленок ср...

Full description

Bibliographic Details

Published in:	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 60, № 8. С. 65-69
Other Authors:	Захаров, Александр Николаевич, Соловьев, Андрей Александрович, Оскомов, Константин Владимирович, Оскирко, Владимир Олегович, Семенов, Вячеслав Аркадьевич, Сыртанов, Максим Сергеевич, Бордулев, Юрий Сергеевич
Format:	Article
Language:	Russian
Subjects:	тонкие пленки молибден магнетронное распыление магнетронные разряды удельное сопротивление адгезия статьи в журналах
Online Access:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001146880