Свойства пленок молибдена, формируемых методом сильноточного импульсного магнетронного распыления

Приведены результаты экспериментов по осаждению тонких пленок молибдена на стеклянные подложки методом сильноточного импульсного магнетронного распыления. Использовались два сильноточных режима, отличающиеся частотой повторения импульсов и их длительностью. Свойства полученных молибденовых пленок ср...

Полное описание

Библиографическая информация

Опубликовано в: :	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 60, № 8. С. 65-69
Другие авторы:	Захаров, Александр Николаевич, Соловьев, Андрей Александрович, Оскомов, Константин Владимирович, Оскирко, Владимир Олегович, Семенов, Вячеслав Аркадьевич, Сыртанов, Максим Сергеевич, Бордулев, Юрий Сергеевич
Формат:	Статья в журнале
Язык:	Russian
Предметы:	тонкие пленки молибден магнетронное распыление магнетронные разряды удельное сопротивление адгезия статьи в журналах
Online-ссылка:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001146880