Электронно-микроскопический анализ градиентной структуры, формирующейся в титане при напылении твердого покрытия

Осуществлено осаждение на образцы технически чистого титана марки ВТ1-0 покрытия нитрида титана толщиной 0.5 мкм вакуумно-дуговым методом с плазменным ассистированием. Выявлено формирование многослойной многофазной высокодефектной структуры толщиной до 40 мкм. По морфологическому признаку выделены п...

Полное описание

Библиографическая информация

Опубликовано в: :	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 60, № 5. С. 118-125
Другие авторы:	Иванов, Юрий Федорович 1955-, Шугуров, Владимир Викторович, Крысина, Ольга Васильевна, Петрикова, Елизавета Алексеевна, Иванова, Ольга Викторовна физик, Толкачев, Олег Сергеевич
Формат:	Статья в журнале
Язык:	Russian
Предметы:	титан нитрид титана TiN-подложка износостойкие покрытия фазовый состав дефектные структуры статьи в журналах
Online-ссылка:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001147764