Плазмохимический синтез, исследование и применение тонких пленок оксида галлия, оксида цинка и бинарной оксидной системы ZnO-TeO2 монография

Монография посвящена получению плазмохимическим осаждением из газовой фазы (PECVD) из высокочистых элементов, исследованию и применению тонких пленок оксида галлия, оксида цинка и бинарной оксидной системы ZnO-TeO2. Монография будет интересна для прочтения специалистам разного профиля, занимающимся...

Full description

Bibliographic Details
Other Authors: Мочалов, Леонид Александрович, Кудряшов, Михаил Александрович, Князев, Александр Владимирович, Алмаев, Алексей Викторович, Слаповская, Екатерина Андреевна
Format: eBook
Language:Russian
Published: Нижний Новгород [б. и.] 2024
Subjects:
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001148573