Плазмохимический синтез, исследование и применение тонких пленок оксида галлия, оксида цинка и бинарной оксидной системы ZnO-TeO2 монография
Монография посвящена получению плазмохимическим осаждением из газовой фазы (PECVD) из высокочистых элементов, исследованию и применению тонких пленок оксида галлия, оксида цинка и бинарной оксидной системы ZnO-TeO2. Монография будет интересна для прочтения специалистам разного профиля, занимающимся...
| Другие авторы: | , , , , |
|---|---|
| Формат: | Электронная книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Нижний Новгород
[б. и.]
2024
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001148573 |
| Итог: | Монография посвящена получению плазмохимическим осаждением из газовой фазы (PECVD) из высокочистых элементов, исследованию и применению тонких пленок оксида галлия, оксида цинка и бинарной оксидной системы ZnO-TeO2. Монография будет интересна для прочтения специалистам разного профиля, занимающимся исследованиями в области физической химии, материаловедения, химии твердого тела и плазмохимии, а также студентам, аспирантам и слушателям, специализирующимся в этих направлениях. |
|---|---|
| Объем: | 211, [1] с. ил. |
| Библиография: | Библиогр.: с. 184-211 |
| ISBN: | 9785502017909 |
| Доступ: | Доступ в сети ТГУ |