|
|
|
|
| LEADER |
03364nam a2200409 c 4500 |
| 001 |
koha001148573 |
| 005 |
20241128152748.0 |
| 007 |
cr | |
| 008 |
241128s2024 ru ado fsb rus d |
| 020 |
|
|
|a 9785502017909
|
| 035 |
|
|
|a koha001148573
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Плазмохимический синтез, исследование и применение тонких пленок оксида галлия, оксида цинка и бинарной оксидной системы ZnO-TeO2
|b монография
|c Л. А. Мочалов, М. А. Кудряшов, А. В. Князев, А. В. Алмаев, Е. А. Слаповская ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Нижегородский гос. техн. ун-т им. Р. Е. Алексеева
|
| 260 |
|
|
|a Нижний Новгород
|b [б. и.]
|c 2024
|
| 300 |
|
|
|a 211, [1] с.
|b ил.
|
| 336 |
|
|
|a Текст
|
| 337 |
|
|
|a электронный
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 184-211
|
| 506 |
|
|
|a Доступ в сети ТГУ
|
| 520 |
3 |
|
|a Монография посвящена получению плазмохимическим осаждением из газовой фазы (PECVD) из высокочистых элементов, исследованию и применению тонких пленок оксида галлия, оксида цинка и бинарной оксидной системы ZnO-TeO2. Монография будет интересна для прочтения специалистам разного профиля, занимающимся исследованиями в области физической химии, материаловедения, химии твердого тела и плазмохимии, а также студентам, аспирантам и слушателям, специализирующимся в этих направлениях.
|
| 653 |
|
|
|a методы синтеза полупроводниковых материалов
|
| 653 |
|
|
|a синтез тонких пленок оксида галлия
|
| 653 |
|
|
|a допирование тонких пленок оксида галлия
|
| 653 |
|
|
|a плазмохимический синтез оксида галлия
|
| 653 |
|
|
|a легирование тонких пленок оксида галлия
|
| 653 |
|
|
|a плазмохимический синтез наноструктурированного оксида цинка
|
| 653 |
|
|
|a плазмохимический синтез бинарной оксидной системы ZnO-TeO2 при различном соотношении макрокомпонентов
|
| 655 |
|
4 |
|a монографии
|
| 700 |
1 |
|
|a Мочалов, Леонид Александрович
|
| 700 |
1 |
|
|a Кудряшов, Михаил Александрович
|
| 700 |
1 |
|
|a Князев, Александр Владимирович
|
| 700 |
1 |
|
|a Алмаев, Алексей Викторович
|
| 700 |
1 |
|
|a Слаповская, Екатерина Андреевна
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|n ru
|
| 856 |
4 |
|
|u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001148573
|
| 999 |
|
|
|c 1148573
|d 1148573
|
| 999 |
|
|
|d 1148573
|
