Диоды Шоттки на гетероструктурах с двумерным электронным газом

Представлены результаты исследований характеристик контактов с барьерами Шоттки на псевдоморфной гетероструктуре AlGaAs/InGaAs. Диоды Шоттки с барьером на основе Ti создавались по стандартной pHEMT-технологии. Показано, что параметры изготовленных контактов с барьерами Шоттки близки к характеристика...

Full description

Bibliographic Details
Published in:Известия высших учебных заведений. Физика Т. 61, № 12. С. 14-20
Main Author: Ющенко, Алексей Юрьевич
Other Authors: Айзенштат, Геннадий Исаакович, Федотова, Фаина Игнатьевна
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001149060
LEADER 02717nab a2200313 c 4500
001 koha001149060
005 20241209170401.0
007 cr |
008 241206|2018 ru s c rus d
035 |a koha001149060 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU 
100 1 |a Ющенко, Алексей Юрьевич 
245 1 0 |a Диоды Шоттки на гетероструктурах с двумерным электронным газом  |c А. Ю. Ющенко, Г. И. Айзенштат, Ф. И. Федотова 
336 |a Текст 
337 |a электронный 
504 |a Библиогр.: 22 назв. 
520 3 |a Представлены результаты исследований характеристик контактов с барьерами Шоттки на псевдоморфной гетероструктуре AlGaAs/InGaAs. Диоды Шоттки с барьером на основе Ti создавались по стандартной pHEMT-технологии. Показано, что параметры изготовленных контактов с барьерами Шоттки близки к характеристикам идеальных контактов на основе алюминия или молибдена, созданных в процессе молекулярной эпитаксии. Показано также, что измеряемая высота барьера Шоттки в диодах, созданных на псевдоморфных гетероструктурах, меньше, а коэффициент идеальности выше, чем на гомоструктурах AlGaAs. Наряду с известными методиками определения высоты барьера Шоттки, в работе апробирована методика, основанная на измерении порогового напряжения в диодах с двумерным электронным газом. 
653 |a Шоттки диоды 
653 |a Шоттки барьер 
653 |a гетероструктуры 
653 |a двумерный электронный газ 
655 4 |a статьи в журналах 
700 1 |a Айзенштат, Геннадий Исаакович 
700 1 |a Федотова, Фаина Игнатьевна 
773 0 |t Известия высших учебных заведений. Физика  |d 2018  |g Т. 61, № 12. С. 14-20  |x 0021-3411  |w 0026-80960 
852 4 |a RU-ToGU 
856 4 |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001149060 
908 |a статья 
999 |c 1149060  |d 1149060