RHEED patterns from 2x1 and 1x2 superstructures during epitaxy of Si on Si(100)
This paper analyzes the growth of Si on Si (100) substrate in a wide temperature range by reflection high-energy electron diffraction method (RHEED) and studies its mechanisms.
| Опубликовано в: : | Двадцать первая Всероссийская конференция студенческих научно-исследовательских инкубаторов, Томск, 13−17 мая 2024 г. : сборник трудов С. 128 |
|---|---|
| Главный автор: | |
| Другие авторы: | |
| Формат: | Статья в сборнике |
| Язык: | English |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001149275 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 01709naa a2200325 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | koha001149275 | ||
| 005 | 20241216121126.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 241212s2024 ru fs 100 0 eng d | ||
| 035 | |a koha001149275 | ||
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 100 | 1 | |a Dyukov, I. Y. |9 980915 | |
| 245 | 1 | 0 | |a RHEED patterns from 2x1 and 1x2 superstructures during epitaxy of Si on Si(100) |c I. Y. Dyukov, A. A. Burnashov |
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 504 | |a Библиогр.: 5 назв. | ||
| 520 | 3 | |a This paper analyzes the growth of Si on Si (100) substrate in a wide temperature range by reflection high-energy electron diffraction method (RHEED) and studies its mechanisms. | |
| 653 | |a молекулярно-лучевая эпитаксия | ||
| 653 | |a суперструктуры | ||
| 653 | |a дифракция отраженных высокоэнергетических электронов | ||
| 653 | |a кремний | ||
| 655 | 4 | |a статьи в сборниках |9 980916 | |
| 700 | 1 | |a Burnashov, A. A. |9 980917 | |
| 773 | 0 | |t Двадцать первая Всероссийская конференция студенческих научно-исследовательских инкубаторов, Томск, 13−17 мая 2024 г. : сборник трудов |d Томск, 2024 |g С. 128 |z 9785936297168 |w koha001147414 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001149275 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=1149275 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 039 | |b 100 | ||
| 999 | |c 1149275 |d 1149275 | ||