Использование СВЧ-резонаторного метода для измерения удельного сопротивления полупроводниковых пластин из карбида кремния

Bibliographic Details
Published in:	Инноватика-2024 : сборник материалов XX Международной школы-конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, 25-27 апреля 2024 г., г. Томск, Россия С. 178-183
Other Authors:	Дьяченко, Александр Дмитриевич, Левашкин, Андрей Геньевич, Башкиров, Александр Иванович, Гузов, Даниил Андреевич
Format:	Book Chapter
Language:	Russian
Subjects:	резонаторный метод удельное сопротивление карбид кремния экспериментальные исследования статьи в сборниках
Online Access:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001149998

Similar Items