LEADER 01737naa a2200313 c 4500
001 koha001149998
005 20250115130654.0
007 cr |
008 241225s2024 ru fs 100 0 rus d
035 |a koha001149998 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU 
245 1 0 |a Использование СВЧ-резонаторного метода для измерения удельного сопротивления полупроводниковых пластин из карбида кремния  |c А. Д. Дьяченко, А. Г. Левашкин, А. И. Башкиров, Д. А. Гузов 
336 |a Текст 
337 |a электронный 
504 |a Библиогр.: 5 назв. 
653 |a резонаторный метод 
653 |a удельное сопротивление 
653 |a карбид кремния 
653 |a экспериментальные исследования 
655 4 |a статьи в сборниках 
700 1 |a Дьяченко, Александр Дмитриевич 
700 1 |a Левашкин, Андрей Геньевич 
700 1 |a Башкиров, Александр Иванович 
700 1 |a Гузов, Даниил Андреевич 
773 0 |t Инноватика-2024 : сборник материалов XX Международной школы-конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, 25-27 апреля 2024 г., г. Томск, Россия  |d Томск, 2024  |g С. 178-183  |z 9785936297151  |w koha001146379 
852 4 |a RU-ToGU 
856 4 |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001149998 
908 |a статья 
999 |c 1149998  |d 1149998