Использование СВЧ-резонаторного метода для измерения удельного сопротивления полупроводниковых пластин из карбида кремния
| Опубликовано в: : | Инноватика-2024 : сборник материалов XX Международной школы-конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, 25-27 апреля 2024 г., г. Томск, Россия С. 178-183 |
|---|---|
| Другие авторы: | , , , |
| Формат: | Статья в сборнике |
| Язык: | Russian |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001149998 |