Контроль однородности полупроводниковых пленок в процессе проведения зондовых измерений удельной электропроводности

Рассмотрены основные выражения, позволяющие определять значение удельной электропроводности в полупроводниковых пластинах и пленках прямоугольной и круглой формы при двухзондовом методе измерений на постоянном токе. На основе асимптотического анализа получены приближенные удобные для расчетов фо...

Полное описание

Библиографическая информация
Опубликовано в: :Известия высших учебных заведений. Физика Т. 68, № 2. С. 82-91
Другие авторы: Заворотний, Анатолий Анатольевич, Ершов, Александр Анатольевич, Филиппов, Владимир Владимирович физик, Лузянин, Сергей Евгеньевич
Формат: Статья в журнале
Язык:Russian
Предметы:
Online-ссылка:https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001153136
Перейти в каталог НБ ТГУ