Контроль однородности полупроводниковых пленок в процессе проведения зондовых измерений удельной электропроводности
Рассмотрены основные выражения, позволяющие определять значение удельной электропроводности в полупроводниковых пластинах и пленках прямоугольной и круглой формы при двухзондовом методе измерений на постоянном токе. На основе асимптотического анализа получены приближенные удобные для расчетов фо...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 68, № 2. С. 82-91 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001153136 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| Summary: | Рассмотрены основные выражения, позволяющие определять значение удельной электропроводности в полупроводниковых пластинах и пленках прямоугольной и круглой формы при двухзондовом методе измерений на постоянном токе. На основе асимптотического анализа получены приближенные удобные для расчетов формулы для разности потенциалов между измерительными зондами. Показано, что в большинстве практически используемых случаев предлагаемые асимптотические формулы можно использовать без увеличения измерительной погрешности в случаях контроля однородности распределения электрофизических параметров исследуемых образцов. |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: 15 назв. |
| ISSN: | 0021-3411 |
| Access: | Ограниченный доступ |