Контроль однородности полупроводниковых пленок в процессе проведения зондовых измерений удельной электропроводности
Рассмотрены основные выражения, позволяющие определять значение удельной электропроводности в полупроводниковых пластинах и пленках прямоугольной и круглой формы при двухзондовом методе измерений на постоянном токе. На основе асимптотического анализа получены приближенные удобные для расчетов фо...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 68, № 2. С. 82-91 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001153136 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 03256nab a2200397 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | koha001153136 | ||
| 005 | 20250310130826.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 250305|2025 ru s c rus d | ||
| 024 | 7 | |a 10.17223/00213411/68/2/9 |2 doi | |
| 035 | |a koha001153136 | ||
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Контроль однородности полупроводниковых пленок в процессе проведения зондовых измерений удельной электропроводности |c А. А. Заворотний, А. А. Ершов, В. В. Филиппов, С. Е. Лузянин |
| 246 | 1 | 1 | |a Monitoring the homogeneity of semiconductor films during probe measurements of electrical conductivity |
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 504 | |a Библиогр.: 15 назв. | ||
| 506 | |a Ограниченный доступ | ||
| 520 | 3 | |a Рассмотрены основные выражения, позволяющие определять значение удельной электропроводности в полупроводниковых пластинах и пленках прямоугольной и круглой формы при двухзондовом методе измерений на постоянном токе. На основе асимптотического анализа получены приближенные удобные для расчетов формулы для разности потенциалов между измерительными зондами. Показано, что в большинстве практически используемых случаев предлагаемые асимптотические формулы можно использовать без увеличения измерительной погрешности в случаях контроля однородности распределения электрофизических параметров исследуемых образцов. | |
| 653 | |a полупроводниковые кристаллы | ||
| 653 | |a двухзондовый метод | ||
| 653 | |a удельная электропроводность | ||
| 653 | |a граничные условия | ||
| 653 | |a асимптотический анализ | ||
| 655 | 4 | |a статьи в журналах | |
| 700 | 1 | |a Заворотний, Анатолий Анатольевич |9 495859 | |
| 700 | 1 | |a Ершов, Александр Анатольевич |9 986427 | |
| 700 | 1 | |a Филиппов, Владимир Владимирович |c физик |9 267866 | |
| 700 | 1 | |a Лузянин, Сергей Евгеньевич |9 986428 | |
| 773 | 0 | |t Известия высших учебных заведений. Физика |d 2025 |g Т. 68, № 2. С. 82-91 |x 0021-3411 |w 0026-80960 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001153136 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=1153136 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 999 | |c 1153136 |d 1153136 | ||
| 039 | |b 100 | ||