Диэлектрические кремнийорганические покрытия, полученные методом удаленного осаждения из тлеющего разряда в потоке смеси аргон/гексаметилдисилоксан автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 2.6.17

Bibliographic Details
Main Author: Зуза, Даниил Александрович
Corporate Authors: Институт сильноточной электроники (Томск), Томский государственный университет
Format: eBook
Language:Russian
Published: Томск [б. и.] 2025
Subjects:
Online Access:https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001154172
Перейти в каталог НБ ТГУ
LEADER 02016nam a2200337 c 4500
001 koha001154172
005 20250325132406.0
006 m fo d
007 cr |
008 250324s2025 ru ado fsbm rus d
035 |a koha001154172 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU 
072 7 |a 2.6.17  |2 nsnr 
100 1 |a Зуза, Даниил Александрович  |9 104515 
245 1 0 |a Диэлектрические кремнийорганические покрытия, полученные методом удаленного осаждения из тлеющего разряда в потоке смеси аргон/гексаметилдисилоксан  |b автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 2.6.17  |c Зуза Даниил Александрович ; Ин-т сильноточной электроники СО РАН ; Нац. исслед. Томский гос. ун-т 
260 |a Томск  |b [б. и.]  |c 2025  |9 688347 
300 |a 27 с.  |b ил. 
336 |a Текст 
337 |a разные средства доступа 
504 |a Библиогр.: с. 26-27 
650 7 |a материаловедение  |2 nsnr  |9 113980 
655 4 |a авторефераты диссертаций 
710 2 |a Институт сильноточной электроники (Томск)  |9 55188 
710 2 |a Томский государственный университет.  |9 53646 
852 4 |a RU-ToGU  |n ru 
856 4 |u https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001154172 
856 |y Перейти в каталог НБ ТГУ  |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=1154172 
942 |2 udc 
039 |b 56 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 2056798  |7 0  |9 866635  |a RU-ToGU  |b RU-ToGU  |c 10024  |d 2025-03-24  |g 150.00  |l 0  |o 2-056798  |p 13820001076718  |r 2025-03-24 16:37:01  |w 2025-03-24  |y 1 
999 |c 1154172  |d 1154172