Диэлектрические кремнийорганические покрытия, полученные методом удаленного осаждения из тлеющего разряда в потоке смеси аргон/гексаметилдисилоксан автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 2.6.17
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Authors: | , |
| Format: | eBook |
| Language: | Russian |
| Published: |
Томск
[б. и.]
2025
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001154172 Перейти в каталог НБ ТГУ |