Диэлектрические кремнийорганические покрытия, полученные методом удаленного осаждения из тлеющего разряда в потоке смеси аргон/гексаметилдисилоксан автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 2.6.17

Диэлектрические кремнийорганические покрытия, полученные методом удаленного осаждения из тлеющего разряда в потоке смеси аргон/гексаметилдисилоксан автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 2.6.17

Bibliographic Details
Main Author: Зуза, Даниил Александрович
Corporate Authors: Институт сильноточной электроники (Томск), Томский государственный университет
Format: eBook
Language:Russian
Published: Томск [б. и.] 2025
Subjects:
материаловедение
авторефераты диссертаций
Online Access:https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001154172
Перейти в каталог НБ ТГУ

Similar Items

Similar Items