Диэлектрические кремнийорганические покрытия, полученные методом удаленного осаждения из тлеющего разряда в потоке смеси аргон/гексаметилдисилоксан диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : 2.6.17

Bibliographic Details
Main Author:	Зуза, Даниил Александрович
Corporate Authors:	Институт сильноточной электроники (Томск), Томский государственный университет
Other Authors:	Курзина, Ирина Александровна (Thesis advisor), Батраков, Александр Владимирович (Thesis advisor)
Format:	eBook
Language:	Russian
Published:	Томск [б. и.] 2024
Subjects:	материаловедение диссертации диэлектрические покрытия кремнийорганические полимерные пленки плазмохимическое осаждение из газовой фазы тлеющие разряды разряды в потоке газа газовые среды аргон/гексаметилдисилоксан полимерные покрытия защитные
Online Access:	https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001154217 Перейти в каталог НБ ТГУ

Similar Items