Диэлектрические кремнийорганические покрытия, полученные методом удаленного осаждения из тлеющего разряда в потоке смеси аргон/гексаметилдисилоксан диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : 2.6.17
| Главный автор: | |
|---|---|
| Корпоративные авторы: | , |
| Другие авторы: | , |
| Формат: | Электронная книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Томск
[б. и.]
2024
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001154217 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| Объем: | 186 л. ил., табл. |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: л. 155-181 |
| Доступ: | Доступ в сети ТГУ |