Разработка способов исследования слоистых структур монолитных интегральных приборов СВЧ на основе спектроскопии и эллипсометрии Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.05.
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Новосибирск
2001
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |
Internet
Перейти в каталог НБ ТГУНаучная библиотека ТГУ: Книгохранилище
| Call Number: |
1-885509к 62 |
|---|---|
| Available Place a Hold |