Разработка способов исследования слоистых структур монолитных интегральных приборов СВЧ на основе спектроскопии и эллипсометрии Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.05.

Bibliographic Details
Main Author:	Крючков, Юрий Иванович
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Новосибирск 2001
Subjects:	оптика. авторефераты диссертаций.
Online Access:	Перейти в каталог НБ ТГУ


LEADER	01453nam a2200241 4500
001	vtls000119376
003	RU-ToGU
005	20210921215625.0
008	091028s2001 ru a f mb 000 0 rus d
035			\|a 0122-94760
039		9	\|a 200910282248 \|c 200601031347 \|d VLOAD \|y 200511070446 \|z Александр Эльверович Гилязов
040			\|a RU-ToGU \|b rus \|c RU-ToGU \|e PSBO
100	1		\|a Крючков, Юрий Иванович. \|9 206649
245	1	0	\|a Разработка способов исследования слоистых структур монолитных интегральных приборов СВЧ на основе спектроскопии и эллипсометрии \|b Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.05.
260			\|a Новосибирск \|c 2001 \|9 688256
300			\|a 32 с. \|b ил.
504			\|a Библиогр.: с.30-32
650	0	7	\|a оптика. \|2 БВАК2000N3 \|9 53704
653			\|a авторефераты диссертаций.
852	4		\|a RU-ToGU \|h 1-885509к \|i 621.3 \|n ru
856			\|y Перейти в каталог НБ ТГУ \|u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=120076
999			\|c 120076 \|d 120076
952			\|0 0 \|1 0 \|4 0 \|6 1885509К_62 \|7 0 \|9 240304 \|a RU-ToGU \|b RU-ToGU \|c 10024 \|d 2021-04-03 \|g 10.00 \|l 0 \|o 1-885509к 62 \|p 13820000316626 \|r 2021-04-03 \|t 1 \|w 2021-04-03 \|y 1

Similar Items