Разработка способов исследования слоистых структур монолитных интегральных приборов СВЧ на основе спектроскопии и эллипсометрии Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.05.

Библиографическая информация
Главный автор: Крючков, Юрий Иванович
Формат: Книга
Язык:Russian
Публикация: Новосибирск 2001
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог НБ ТГУ

Похожие документы