Автоматизация измерений удельного сопротивления полупроводниковых материалов неразрушающим СВЧ-методом
В данной работе предложен полностью автоматизированный неразрушающий микроволновой метод, обеспечивающий высокую точность и пространственное разрешение при определении распределения удельного сопротивления по площади образца....
| Опубликовано в: : | Инноватика-2025 : сборник материалов XXI Международной школы-конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, 28-30 апреля 2025 г., г. Томск, Россия С. 101-102 |
|---|---|
| Главный автор: | |
| Другие авторы: | , |
| Формат: | Статья в сборнике |
| Язык: | Russian |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001272776 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 02357naa a2200337 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | koha001272776 | ||
| 005 | 20251218162823.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 251215s2025 ru fs 100 0 rus d | ||
| 035 | |a koha001272776 | ||
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 100 | 1 | |a Дьяченко, Александр Дмитриевич |9 982541 | |
| 245 | 1 | 0 | |a Автоматизация измерений удельного сопротивления полупроводниковых материалов неразрушающим СВЧ-методом |c А. Д. Дьяченко, А. Г. Левашкин, А. И. Башкиров |
| 246 | 1 | 1 | |a Automation of semiconductor material resistivity measurements using non-destructive microwave method |
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 504 | |a Библиогр.: 4 назв. | ||
| 520 | 3 | |a В данной работе предложен полностью автоматизированный неразрушающий микроволновой метод, обеспечивающий высокую точность и пространственное разрешение при определении распределения удельного сопротивления по площади образца. | |
| 653 | |a полупроводники | ||
| 653 | |a генераторы микроволнового излучения | ||
| 653 | |a экспериментальные исследования | ||
| 655 | 4 | |a статьи в сборниках | |
| 700 | 1 | |a Левашкин, Андрей Геньевич |9 95929 | |
| 700 | 1 | |a Башкиров, Александр Иванович |9 127059 | |
| 773 | 0 | |t Инноватика-2025 : сборник материалов XXI Международной школы-конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, 28-30 апреля 2025 г., г. Томск, Россия |d Томск, 2025 |g С. 101-102 |z 9785936297311 |w koha001268951 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001272776 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=1272776 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 999 | |c 1272776 |d 1272776 | ||
| 039 | |b 100 | ||