Автоматизация измерений удельного сопротивления полупроводниковых материалов неразрушающим СВЧ-методом
В данной работе предложен полностью автоматизированный неразрушающий микроволновой метод, обеспечивающий высокую точность и пространственное разрешение при определении распределения удельного сопротивления по площади образца....
| Published in: | Инноватика-2025 : сборник материалов XXI Международной школы-конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, 28-30 апреля 2025 г., г. Томск, Россия С. 101-102 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Format: | Book Chapter |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001272776 Перейти в каталог НБ ТГУ |