Автоматизация измерений удельного сопротивления полупроводниковых материалов неразрушающим СВЧ-методом
В данной работе предложен полностью автоматизированный неразрушающий микроволновой метод, обеспечивающий высокую точность и пространственное разрешение при определении распределения удельного сопротивления по площади образца....
| Опубликовано в: : | Инноватика-2025 : сборник материалов XXI Международной школы-конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, 28-30 апреля 2025 г., г. Томск, Россия С. 101-102 |
|---|---|
| Главный автор: | |
| Другие авторы: | , |
| Формат: | Статья в сборнике |
| Язык: | Russian |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001272776 Перейти в каталог НБ ТГУ |