Ионное травление микроструктур
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва
Советское радио
1979
|
| Series: | Массовая библиотека инженера "Электроника"
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |
| Physical Description: | 101, [3] с. ил., табл. 20 см |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: с. 95-102 (158 назв.) |