Фазовый состав и морфология поверхности диэлектрических и полупроводниковых пленок, сформированных термооксидированием гетероструктур (V2O5+PbO)/InP и (NiO+PbO)/InP

Библиографическая информация
Опубликовано в: :	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 57, № 7/2. С. 90-95
Соавтор:	Томский государственный университет Химический факультет Научные подразделения ХФ
Другие авторы:	Миттова, Ирина Яковлевна, Заболотская, Анастасия Владимировна, Самсонов, Алексей Алексеевич, Сладкопевцев, Борис Владимирович, Третьяков, Никита Николаевич, Томина, Елена Викторовна
Формат:	Статья в журнале
Язык:	Russian
Предметы:	фосфид индия оксид ванадия магнетронное распыление оксидирование статьи в журналах
Online-ссылка:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000516386 Перейти в каталог НБ ТГУ

Похожие документы