Микроэлектронные сенсоры давления

Bibliographic Details
Published in:	Вестник Томского государственного университета № 285 : Серия "Физика". С. 139-147
Corporate Author:	Томский государственный университет Химический факультет Кафедра аналитической химии
Other Authors:	Криворотов, Николай Павлович, Изаак, Татьяна Ивановна, Ромась, Лариса Михайловна, Щеголь, Сергей Степанович, Свинолупов, Юрий Григорьевич
Format:	Article
Language:	Russian
Subjects:	электроника сенсорная микроэлектроника сенсоры давления кремний кристаллы микромеханика нанотехнологии микроэлектронные сенсоры давления научные исследования труды ученых ТГУ статьи в журналах
Online Access:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000328939 Перейти в каталог НБ ТГУ

Similar Items